深圳,2025年9月12日22:48(现场速递) —— 于今日闭幕的深圳国际半导体展会上,东莞仟净环保设备有限公司携工程级半层体超纯水系统及智能实验室水处理设备双线解决方案亮相,凭借超高纯度稳定性与创新模块化设计,成为展会焦点。其针对晶圆外延、封装及碳化硅晶圆打磨等关键工艺的定制化能力,吸引了数十家头部企业现场洽谈合作。
仟净本次展出的工程级半层体设备采用多级纯化耦合技术,通过优化离子去除效率与水流动力学设计:
实现有机污染物及金属离子含量的行业领先控制水平
模块化架构显著简化安装流程,支持晶圆厂产线快速扩容
独有的抗污染膜技术延长核心部件寿命30%以上(经国家半导体设备质量监督检验中心验证)
实验室设备线则聚焦研发场景:
集成智能监控平台,保障碳化硅晶圆打磨等高敏工艺的持续水质纯净度
双回路供水设计同步满足清洗与实验的差异化需求,提升研发效率
展会期间,仟净与东莞松山湖材料实验室达成半导体超纯水技术联合研发计划。其工程设备已通过:
中国电子技术标准化研究院性能认证
在国内主流8英寸/12英寸晶圆产线实现规模化应用
公司技术总监透露:"设备在碳化硅晶圆量产中展现出优异稳定性,助力客户提升工艺良率。"
仟净同步展示的水资源循环利用系统引发关注:
通过分级回收技术实现纯水制备成本优化
创新能源管理模块降低设备综合能耗
"该方案已纳入工信部《半导体行业绿色工厂评价规范》推荐技术目录。"展会评审专家指出。
行业展望
随着第三代半导体产业加速扩张,仟净的晶圆级水质控制技术正成为国产芯片制造的隐形守护者。其通过产学研深度融合构建的技术壁垒,标志着中国环保装备企业从"跟跑"向"并跑"的战略转型。